การควบคุมการกระจายโพลีเมอร์ต่อต้านแสง

                                                    การควบคุมการกระจายโพลีเมอร์ต่อต้านแสง

1เลือกโมโนเมอร์ที่เหมาะสมและตัวเริ่มต้น

ขึ้นอยู่กับคุณสมบัติที่ต้องการสําหรับ photoresist การเลือกของ monomers เป็นสิ่งสําคัญในการควบคุมการกระจายพอลิมเมอร์ในการสังเคราะห์ของโพลี ((ไฮดรอ็กซิสไตรีน-r-1-เมธีลาดาแมนติลเมธาครีเลต) (PHS-r-PMAdMA), acetoxystyrene (AHS) และ 2-methacryloyloxy-2-methyladamantane (MAd-MA) ถูกเลือกเป็นโมโนเมอร์และการกระจายส่วนประกอบทางเคมีของพอลิมเมอร์สามารถได้รับผลกระทบโดยการควบคุมสัดส่วนของโมโนเมอร์และสภาพปฏิกิริยา.

การควบคุมสัดส่วนของโมโนเมอร์อย่างแม่นยําเป็นสิ่งสําคัญ สัดส่วนของโมโนเมอร์ที่แตกต่างกัน จะส่งผลกระทบต่อการกระจายส่วนประกอบทางเคมีของพอลิมเมอร์ โดยการทดลองและการคํานวณทฤษฎีอัตราส่วนโมโนเมอร์ที่ดีที่สุดถูกกําหนดเพื่อบรรลุคุณสมบัติและการกระจายพอลิเมอร์ที่ดีที่สุดตัวอย่างเช่น เมื่อสังเคราะห์ PHS-r-PMAdMA โดยการปรับสัดส่วนของไฮโดรคซิสไตรีนและเมธีลาดาแมนติลเมธาครีเลต โพลิเมอร์ที่มีส่วนประกอบทางเคมีที่แตกต่างกันสามารถได้รับซึ่งกลับส่งผลต่อการทํางานของไฟ.

ประเภทและปริมาณของสารเริ่มต้นยังจะส่งผลต่อความคืบหน้าของปฏิกิริยาพอลิมิเรชั่นและการกระจายน้ําหนักโมเลกุลของพอลิมเมอร์ผู้เริ่มต้นที่แตกต่างกัน มีกิจกรรมและการเลือกเริ่มต้นที่แตกต่างกันซึ่งจะส่งผลกระทบต่ออัตราการปฏิกิริยาพอลิมเรซิส และการกระจายน้ําหนักโมเลกุลของพอลิมเลอร์ตัวเริ่มที่เหมาะสมสามารถควบคุมอัตราและการเลือกของปฏิกิริยาพอลิมเมอเรชั่น, โดยได้รับพอลิมเลอร์ที่มีการกระจายน้ําหนักโมเลกุลที่เรียบร้อยมากขึ้น เช่นเมื่อใช้ตัวเริ่มต้นอะโซ (V601)น้ําหนักโมเลกุลของพอลิมเลอร์สามารถควบคุมได้ในระดับหนึ่ง โดยปรับปริมาณ.ปริมาณของตัวเริ่มต้นมีอิทธิพลสําคัญต่อปฏิกิริยาพอลิมิเรซชั่น ตัวเริ่มต้นน้อยเกินไปอาจส่งผลให้ปฏิกิริยาไม่สมบูรณ์ ขณะที่ตัวเริ่มต้นมากเกินไปอาจทําให้เกิดปฏิกิริยาข้างเคียงส่งผลให้มีการกระจายน้ําหนักโมเลกุลที่กว้างกว่าจํานวนตัวเริ่มต้นที่ดีที่สุดถูกกําหนดผ่านการทดลองเพื่อให้แน่ใจว่าการดําเนินการของปฏิกิริยาพอลิเมอเรชั่นที่มีประสิทธิภาพและความเหมือนกันของการกระจายน้ําหนักโมเลกุล

2. การควบคุมสภาวะปฏิกิริยาพอลิมเมอเรชั่นอย่างแม่นยํา

อุณหภูมิปฏิกิริยามีผลที่สําคัญต่อการกระจายน้ําหนักโมเลกุลของพอลิมเลอร์อุณหภูมิปฏิกิริยาที่สูงขึ้นอาจส่งผลให้การกระจายน้ําหนักโมเลกุลขยายออกไป เพราะอัตราการพอลิมิเรซชั่นเพิ่มขึ้นในอุณหภูมิที่สูงระหว่างกระบวนการปฏิกิริยา ให้ความมั่นคงและความเหมือนกันของอุณหภูมิอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงอาจทําให้อัตราการพอลิเมอเรชั่นไม่สม่ําเสมอใช้อุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิความแม่นยําสูง เช่น อ่างน้ํามันอุณหภูมิคงที่ หรือเครื่องทําความร้อนอุปกรณ์ประกอบด้วยเซ็นเซอร์อุณหภูมิและระบบควบคุมการตอบสนองเพื่อรักษาอุณหภูมิปฏิกิริยาที่มั่นคงและเรียบร้อย.

เวลาปฏิกิริยายังเป็นปัจจัยสําคัญเวลาปฏิกิริยาที่เหมาะสมสามารถทําให้ปฏิกิริยาพอลิเมอเรชั่นดําเนินการได้อย่างเต็มที่โดยหลีกเลี่ยงการกระจายน้ําหนักโมเลกุลที่ไม่เท่าเทียมกันที่เกิดจากการปฏิกิริยาเกิน. ใช้วิธีการติดตามที่เหมาะสม เช่น เจลเพอร์เมชั่นโครมาโตเกอรี่ (GPC) หรือนิวเคลียร์แม่เหล็ก (NMR) และเทคโนโลยีอื่น ๆเพื่อติดตามความคืบหน้าของปฏิกิริยาพอลิมิเรชั่นในเวลาจริงตามผลการติดตาม, เวลาปฏิกิริยาถูกปรับในเวลาเพื่อให้แน่ใจว่าการกระจายพอลิมเมอร์เป็นเช่นที่คาดหวัง

การเลือกของสารละลายมีความสําคัญเท่ากัน สารละลายที่แตกต่างกันมีความละลายที่แตกต่างกันสําหรับโมโนเมอร์ เช่น เมื่อสังเคราะห์พอลิมเลอร์ต่อแสงบางชนิดถ้าสารละลายมีความละลายที่ไม่ดีสําหรับโมโนเมอร์, อัตราการกระจายของโมเลกุลโมโนเมอร์ในสารละลายจะช้าลง ซึ่งอาจทําให้ปริมาณมโนเมอร์ในพื้นที่สูงเกินไปหรือต่ําเกินไปที่ส่งผลกระทบต่อความเหมือนกันของปฏิกิริยาโพลิมเมอเรชั่นตัวอย่างเช่น การใช้ไดอคซานเป็นสารละลาย สามารถสร้างสภาพแวดล้อมที่เหมาะสมสําหรับปฏิกิริยาพอลิมิเรชั่นที่ช่วยควบคุมน้ําหนักโมเลกุลและการกระจายส่วนประกอบทางเคมีของพอลิมเลอร์.

3วิธีการฝนและการสกัด

การฝนเป็นวิธีการทําความสะอาดที่ใช้กันทั่วไป เช่น หลังจากการสังเคราะห์ของ PHS-r-PMAdMAโมโนเมอร์และสารสกปรกบางชนิดที่ไม่ได้ปฏิกิริยาสามารถถูกกําจัดโดยการเพิ่มเติมเฮกซานให้กับสารปฏิกิริยาเพื่อการฝนลง, โดยปรับปรุงความบริสุทธิ์และความเรียบร้อยของการกระจายของพอลิมเมอร์

การสกัดแยกเป็นวิธีที่สําคัญเช่นกัน ในระหว่างกระบวนการสังเคราะห์ โดยการเพิ่มเอธิลแอซเตตไปยังสารปฏิกิริยาสําหรับการสกัดโพลีเมอร์เป้าหมายสามารถแยกออกและการกระจายโพลีเมอร์สามารถปรับปรุงเพิ่มเติม.